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国产光刻秘密继续努力!ASML公布全新光刻机技术

作者:YWYF 发布时间:2020-09-03 20:40

在5G迈向高速生长之际各大厂商对于算力的需求将进一步扩大而这种高算力必须依赖于越发先进的半导体工艺所以本次的第一代HMI多光束检测机HMI eScan1000也算是应运而生为晶圆代工厂带来了更高的产能。

作为全球知名的光刻机设备生产商荷兰ASML公司险些垄断了全球的高端光刻机生产现在全球14nm及其以上的光刻机险些都是由ASML公司生产的。

不外对于国产的晶圆厂商来说现在险些不行能能够获得搭载HMI eScan1000技术的光刻机现在以中芯国际为代表的晶圆代工厂还在努力的引进初代7nm工艺光刻机而国产的光刻机设备更是另有相当长的路要走。

本质上荷兰ASML公司的光刻机也是全球多个国家的尖端技术的集大成者主要的技术和零部件险些都来自日韩美等国家相比之下我国的光刻机生长面临的难题要大得多所有的一切都得自己探索。

据ASML公司宣布的消息显示HMI eScan1000能够同时发生、控制九道电子束与单个电子束检查工具相比将使吞吐量提高达600%这意味着在使用这套系统时产能将获得600%的增长。

凭据此前ASML公司宣布的资料整理得知新的MBI系统包罗一个电子光学系统能够建立和控制多个低级电子波束然后收集和处置惩罚发生的次级电子波束将波束之间的串扰限制在2%以内并提供一致的成像质量。

光刻机设备生产商荷兰ASML公司今日在官网上宣布它们已经完成了用于5nm及更先进工艺的第一代HMI多光束检测机HMI eScan1000的研发及测试现在首台多波束检测系统已于本周交付客户举行判定。

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